| 代数 | 当主・藩主 | 備考 |
| 1 | 内田正信 | 御納戸頭・内田正世の子. 下総国小見川藩主[1639-1649]→下野国鹿沼藩主[1649-1651] |
| 2 | 内田正衆 | 下野国鹿沼藩主[1661-1699] |
| 3 | 内田正偏 | 下野国鹿沼藩主[1699-1724] |
| 4 | 内田正親 | 下野国鹿沼藩主[1724]→下総国小見川藩主[1724-1746] |
| 5 | 内田正美 | 下総国小見川藩主[1746-1753] |
| 6 | 内田正良 | 下総国小見川藩主[1753-1782] |
| 7 | 内田正純 | 下総国小見川藩主[1782-1806] |
| 8 | 内田正肥 | 下総国小見川藩主[1806-1816] |
| 9 | 内田正容 | 下総国小見川藩主[1816-1837] |
| 10 | 内田正道 | 下総国小見川藩主[1837-1851] |
| 11 | 内田正徳 | 下総国小見川藩主[1851-1863] |
| 12 | 内田正縄 | 下総国小見川藩主[1863-1864] |
| 13 | 内田正学 | 下総国小見川藩主[1864-1871]→廃藩置県 |
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